Просмотр собрания по группе - Ключевые слова мікроелектромеханічні системи
Результаты 1 по 1 из 1
| Дата публикации | Название | Автор(ы) |
|---|---|---|
| 2016 | Модуляційно-поляризаційний метод вимірювання внутрішніх механічних напружень в мікроелектронних структурах SI-AL | Олійник, Остап Олегович |