Browsing by Subject облучение ионное
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2012 | Математическое моделирование изменения толщины оксидного пленки при низкоэнергетическом ионном азотировании | Куценко, Александр Сергеевич; Марченко, Игорь Иванович |