Browsing by Subject тензорезистивний сенсор тиску
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2016 | Модуляційно-поляризаційний метод вимірювання внутрішніх механічних напружень в мікроелектронних структурах SI-AL | Олійник, Остап Олегович |