Browsing by Subject хлорид кремния
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2006 | Газофазное осаждение кремний-германиевых сплавов | Журавлев, А. Ю.; Глушко, П. И.; Капустин, В. Л.; Корж, А. Ф.; Семенов, Н. А.; Хованский, Н. А.; Шеремет, Н. И.; Широков, Б. М. |