Перегляд зібрання за групою - Ключові слова электронно-лучевая литография
Результати 1 до 1 із 1
| Дата публікації | Назва | Автор(и) |
|---|---|---|
| 2016 | Ричард Фейнман и нанотехнология | Петренко, Е.; Терновой, А.; Минакова, Ксения Александровна; Лыках, В. А; Сыркин, Е. С. |