Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/10446
Title: О надежности процесса получения поликристаллического кремния с применением кремниевых затравок
Other Titles: About reliability of process of receipt polysilicon with the use of silicic fuses
Authors: Червоный, И. Ф.
Реков, Ю. В.
Червоный, В. Ф.
Егоров, С. Г.
Keywords: фотоэлектрическая энергетика; монокристаллический кремний; прочность кремния; водородное восстановления хлорсиланов; silicon; polysilicon; silicic fuse; stability of bars of silicon
Issue Date: 2012
Publisher: НТУ "ХПИ"
Citation: О надежности процесса получения поликристаллического кремния с применением кремниевых затравок / И. Ф. Червоный [и др.] // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Новые решения в современных технологиях. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2012. – № 44 (950). – С. 137-143.
Abstract: Рассмотрено влияние характеристик кремниевых затравок на надежность технологического процесса поликристаллических стержней кремния в процессе водородного восстановления хлорсиланов. Показано, что предельная прочность кремния на изгиб является лимитирующим звеном при обеспечении надежности технологического процесса.
Influence of descriptions of silicon fuses is considered on reliability of technological process of polysilicon bars of silicon in the process of hydrogen renewal of silicon chloride. It is shown that maximum durability of silicon on a bend is a limiting link at providing of reliability of technological process.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/10446
Appears in Collections:Вісник № 44

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
vestnik_HPI_2012_44_Chervonyiy_O_nadezhnosti.pdf308,93 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.