Вплив тиску робочої атмосфери на формування вакуумно-дугових покриттів ZrN та (Zr-Ti-Ta-Hf-V-Nb)N
Вантажиться...
Дата
2014
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
НТУ "ХПІ"
Анотація
Методами рентгенівської тензометрії, електронної мікроскопії, в поєднанні з вимірюванням механічних характеристик мікроіндентуванням вивчено можливості структурної інженерії покриттів ZrN та (Zr-Ti-Ta-Hf-V-Nb)N шляхом впливу тиску робочої атмосфери при осадженні покриттів на їх структуру та властивості. Встановлені умови одержання, які призводять до формування надтвердих покриттів з твердістю понад 40 ГПа.
Method of X-ray tensometry, electron microscopy, combined with the measurement of the mechanical characteristics of the microindentation, studied the possibility of structural engineering ZrN and (Zr-Ti-Ta-Hf-V-Nb) N coatings by influence of working atmosphere pressure on the deposition of coatings on their structure and properties. Determined that the multielement coating and coating ZrN, deposited in nitric atmosphere are the single phase based on cubic fcc lattice (structural type NaCl). In all systems of the coatings deposited at the highest pressure 5 · 10-³ Torr deformation texture is formed with the axis [111] perpendicular to the surface growth. Establish conditions receive, which lead to the formation of superhard coatings with a hardness of 40 GPa. High resistance to abrasion is determined by complex influence of three factors: the presence of nanogranular state and almost nontextured structure and high microstrain.
Method of X-ray tensometry, electron microscopy, combined with the measurement of the mechanical characteristics of the microindentation, studied the possibility of structural engineering ZrN and (Zr-Ti-Ta-Hf-V-Nb) N coatings by influence of working atmosphere pressure on the deposition of coatings on their structure and properties. Determined that the multielement coating and coating ZrN, deposited in nitric atmosphere are the single phase based on cubic fcc lattice (structural type NaCl). In all systems of the coatings deposited at the highest pressure 5 · 10-³ Torr deformation texture is formed with the axis [111] perpendicular to the surface growth. Establish conditions receive, which lead to the formation of superhard coatings with a hardness of 40 GPa. High resistance to abrasion is determined by complex influence of three factors: the presence of nanogranular state and almost nontextured structure and high microstrain.
Опис
Ключові слова
нітрид цирконію, нітрид високоентропійного сплаву, структура, субструктура, мікротвердість, highentropy nitride alloy, coating, structure, microhardness
Бібліографічний опис
Вплив тиску робочої атмосфери на формування вакуумно-дугових покриттів ZrN та (Zr-Ti-Ta-Hf-V-Nb)N / О. В. Соболь [та ін.] // Вісник Нац. техн. ун-ту "ХПІ" : зб. наук. пр. Темат. вип. : Механіко-технологічні системи та комплекси. – Харків : НТУ "ХПІ". – 2014. – № 60 (1102). – С. 9-14.