Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/14397
Title: Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb2Al)N с аморфноподобной фазой AlN
Authors: Иващенко, Владимир Иванович
Погребняк, Александр Дмитриевич
Соболь, Олег Валентинович
Рогоз, Владислав Николаевич
Мейлехов, Андрей Александрович
Дуб, Сергей Николаевич
Купчишин, Анатолий Иванович
Keywords: нанокомпозитные пленки; аморфноподобная фаза; пленки; покрытия AlN
Issue Date: 2015
Publisher: Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН
Citation: Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb2Al)N с аморфноподобной фазой AlN / В. И. Иващенко [и др.] // Письма в Журнал Технической Физики. – 2015. – Т. 41, вып. 14. – С. 72-78.
Abstract: Исследованы нанокомпозитные пленки на основе (Nb2Al)N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках было идентифицировано два устойчивых состояния кристаллической структуры: NbN (c низким растворением Al до 5 at.%) с составом, близким к (Nb2Al)N, и аморфноподобная составляющая, связанная с состоянием нитрида алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлена чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на мишень из Al, а также их связь с нанотвердостью и твердостью по Кнупу. Последние изменяются в диапазоне 29−33.5 и 46−48 GPa соответственно.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/14397
Appears in Collections:Кафедра "Матеріалознавство"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2015_Ivashchenko_Vliyanie_toka.pdf110,74 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.