Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb2Al)N с аморфноподобной фазой AlN
Вантажиться...
Дата
2015
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН
Анотація
Исследованы нанокомпозитные пленки на основе (Nb2Al)N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках было идентифицировано два устойчивых состояния кристаллической структуры: NbN (c низким растворением Al до 5 at.%) с составом, близким к (Nb2Al)N, и аморфноподобная составляющая, связанная с состоянием нитрида алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлена чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на мишень из Al, а также их связь с нанотвердостью и твердостью по Кнупу. Последние изменяются в диапазоне 29−33.5 и 46−48 GPa соответственно.
Опис
Ключові слова
нанокомпозитные пленки, аморфноподобная фаза, пленки, покрытия AlN
Бібліографічний опис
Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb2Al)N с аморфноподобной фазой AlN / В. И. Иващенко [и др.] // Письма в Журнал Технической Физики. – 2015. – Т. 41, вып. 14. – С. 72-78.