Фазовий склад, структура і напружений стан вакуумно-дугових покриттів TiN, отриманих під впливом високовольтних імпульсів
Вантажиться...
Дата
2012
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
НТУ "ХПІ"
Анотація
Опис
Ключові слова
покриття, нітрид, вакуумна дуга, кристалічна решітка
Бібліографічний опис
Кіданова Н. В. Фазовий склад, структура і напружений стан вакуумно-дугових покриттів TiN, отриманих під впливом високовольтних імпульсів / Н. В. Кіданова, В. Є. Фільчиков, О. В. Соболь // Тези доп. 20-ї Міжнар. наук.-практ. конф. "Інформаційні технології : наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я" (MicroCAD–2012), 15-17 травня 2012 р. / ред. Л. Л. Товажнянський. – Харків : НТУ "ХПІ", 2012. – Ч. 2. – С. 20.