Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/14409
Title: Закономерности формирования структуры покрытий CrN, полученных вакуумно-дуговым испарением в атмосфере азота
Other Titles: Regularities of Structure Formation of Coatings CrN, Obtained by Vacuum Arc Evaporation in a Nitrogen Atmosphere
Authors: Соболь, Олег Валентинович
Андреев, Анатолий Афанасьевич
Столбовой, Вячеслав Александрович
Пинчук, Наталия Владимировна
Мейлехов, Андрей Александрович
Keywords: вакуумно-дуговой метод; давление; текстура; субструктура; интенсивность; размер кристаллитов; CrN; vacuum-arc method; pressure; substructure; size of crystallites
Issue Date: 2015
Publisher: Сумской государственный университет
Citation: Закономерности формирования структуры покрытий CrN, полученных вакуумно-дуговым испарением в атмосфере азота / О. В. Соболь [и др.] // Журнал нано- и электронной физики = Journal of Nano- and Electronic Physics. – 2015. – Т. 7, № 1. – С. 01026-1–01026-4.
Abstract: Рассмотрены вопросы структурной инженерии покрытий системы Cr-N, полученных вакуумно-дуговым испарением катода Cr в азотной атмосфере. В качестве изменяемых физико-технологических параметров использовались: давление азотной атмосферы (3,5…48) 10 – 4 Торр и отрицательный потенциал смещения, подаваемый на подложку в постоянном (Ub – 120 В) и импульсном (Uip – 1200 В) режимах. Увеличение давления без импульсного воздействия позволяет переходить от Cr + Cr2N фаз к текстурированным кристаллитам CrN фазы с осью [111]. Переход от металлической фазы к нитридной сопровождается уменьшением среднего размера кристаллитов. Дополнительная подача импульсного потенциала позволяет интенсифицировать процесс образования нитридов и стимулирует при высоких давлениях формирование радиационно-стойкой тестуры с осью [110].
The questions of structural engineering of Cr-N system coatings produced by vacuum arc evaporation of Cr cathode in a nitrogen atmosphere are considered. As the variable physical and technological parameters we have used the following ones: pressure of nitrogen atmosphere (3.5…48) 10–4 Torr and negative bias potential applied to the substrate in constant (Ub – 120 V) and pulse (Uip – 1200 V) modes. Increase in the pressure without pulse action allows to transfer from Cr + Cr2N phase to phase of textured CrN crystallites with [111] axis. The transition from the metallic phase to the mechanical nitride is accompanied by a decrease in the average size of crystallites. Additional supply of impulse capacity allows to intensify the process of formation of nitrides and stimulates formation at high pressure of radiationresistant texture units with the [110] axis.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/14409
Appears in Collections:Кафедра "Матеріалознавство"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2015_Sobol_Zakonomernosti_formirovaniya.pdf482,43 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.