Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/14411
Title: Структурная инженерия многослойной системы TiN/CrN, полученной вакуумно-дуговым испарением
Other Titles: Structural Engineering of Multilayer TiN/CrN System Obtained by the Vacuum Arc Evaporation
Authors: Соболь, Олег Валентинович
Андреев, Анатолий Афанасьевич
Горбань, Виктор Федорович
Столбовой, Вячеслав Александрович
Пинчук, Наталия Владимировна
Мейлехов, Андрей Александрович
Keywords: вакуумно-дуговой метод; давление; потенциал смещения; CrN; TiN; текстура; субструктура; микродеформация; размер кристаллитов; vacuum-arc method; bias potential; substructure; microstrain; size of crystallites
Issue Date: 2015
Publisher: Сумской государственный университет
Citation: Структурная инженерия многослойной системы TiN/CrN, полученной вакуумно-дуговым испарением / О. В. Соболь [и др.] // Журнал нано- и электронной физики = Journal of Nano- and Electronic Physics. – 2015. – Т. 7, № 1. – С. 01034-1–01034-6.
Abstract: Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура и твердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN / CrN, полученных в интервале давления азота 1x10 – 5…5x10 – 3 Торр при подаче постоянного и импульсного отрицательного потенциала смещения. Установлено формирование двухфазного состояния с преимущественной ориентацией роста кристаллитов. При высоком давлении (1…5)x10 – 3 Торр и подаче отрицательного постоянного потенциала смещения: Uпп = – 20 В – ось текстуры [100], при – 230 В – ось текстуры [111]. Основываясь на исследованиях субструктурного состояния, установлена связь перехода в сверхтвердое (до 57 ГПа) состояние с уменьшением микродеформации и размера кристаллитов в TiN слоях.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/14411
Appears in Collections:Кафедра "Матеріалознавство"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2015_Sobol_Strukturnaya_inzheneriya.pdf562,88 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.