Структурная инженерия многослойной системы TiN/CrN, полученной вакуумно-дуговым испарением
Вантажиться...
Дата
2015
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Сумський державний університет
Анотація
Методами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура и твердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN / CrN, полученных в интервале давления азота 1x10 – 5…5x10 – 3 Торр при подаче постоянного и импульсного отрицательного потенциала смещения. Установлено формирование двухфазного состояния с преимущественной ориентацией роста кристаллитов. При высоком давлении (1…5)x10 – 3 Торр и подаче отрицательного постоянного потенциала смещения: Uпп = – 20 В – ось текстуры [100], при – 230 В – ось текстуры [111]. Основываясь на исследованиях субструктурного состояния, установлена связь перехода в сверхтвердое (до 57 ГПа) состояние с уменьшением микродеформации и размера кристаллитов в TiN слоях.
Опис
Ключові слова
вакуумно-дуговой метод, давление, потенциал смещения, CrN, TiN, текстура, субструктура, микродеформация, размер кристаллитов, vacuum-arc method, bias potential, substructure, microstrain, size of crystallites
Бібліографічний опис
Структурная инженерия многослойной системы TiN/CrN, полученной вакуумно-дуговым испарением / О. В. Соболь [и др.] // Журнал нано- та електронної фізики = Journal of Nano- and Electronic Physics. – 2015. – Т. 7, № 1. – С. 01034-1–01034-6.