High-Stable Standard Samples of Mass in the Nano-Gram Range

Abstract

Исследованы высокостабильные эталоны масс, полученные методом магнетронного осаждения сверхгладких слоев металлов на монокристаллические подложки. Тонкопленочные эталоны отвечают требованиям, предъявляемым ГОСТ 8.315-97 к государственным стандартным образцам: однородны, стабильны во времени и допускают аттестацию несколькими независимыми методами. Обеспечена точность измерений массы в диапазоне от 1 до 17 нг не хуже 1 нг, а в диапазоне от 17 до 3800 нг не хуже 8 нг.