Резонансна вихрострумова дефектоскопія тонких неферомагнітних плівок

Abstract

Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата технічних наук за спеціальністю 05.11.13 - прилади і методи контролю та визначення складу речовин. – Харківський національний університет радіоелектроніки, Харків, 2015 р. Дисертація присвячена розробці методу і приладу для ефективного контролю дефектів структури тонких неферомагнітних плівок. Проведено аналіз характеристик різних ВСП, здатних виявляти зазначені дефекти. Розглянуті різні режими роботи з урахуванням внутрішнього опору джерела живлення і опору навантаження, способи підключення ВСП до джерела живлення. Розроблено спосіб, що дозволяє поліпшити виявлення дефектів у тонких неферомагнітних плівках. Досліджено модель оцінки взаємодії резонансного ВСП з неферомагнітною тонкою плівкою. Наведено аналітичні співвідношення, проведено розрахунки залежності вихідного сигналу від параметрів ВСП. Для експериментальних досліджень був виготовлений лабораторний макет вихрострумового дефектоскопа, за допомогою якого здійснювалася перевірка відповідності розрахункових теоретичних співвідношень з експериментальними.Dissertation for the degree of Ph. D. in Engineering Science, specialty 05.11.13 – devices and methods of control and determination of the composition of substances. – Kharkov National University of Radio Electronics, Kharkov, 2015. The dissertation is devoted to the development of methods and instruments for the effective control of defects imperfections film structure The analysis of the characteristics of various ECP capable of detecting these defects. Considering the various modes of operation, taking into account the internal resistance of the power supply and the load resistance, how to connect to a power source ECP. Developed a way to improve the detection of defects in non–ferromagnetic thin films. A model to assess the interaction with non–ferromagnetic resonance ECP thin film. These analytical ratios were calculated according to the output signal from the parameters of the ECP. For experimental research laboratory prototype was manufactured eddy–current flaw detector by which to check whether the calculation of the theoretical and experimental relations.