Структура, субструктура и физико-механические свойства многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных методом вакуумно-дугового испарения
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУ "ХПИ"
Анотація
Опис
Ключові слова
вакуумно-дуговой метод, CrN, TiN, вакуумная дуга, ионизация, многослойные покрытия, потенциал смещения, процесс осаждения
Бібліографічний опис
Структура, субструктура и физико-механические свойства многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных методом вакуумно-дугового испарения / О. В. Соболь [и др.] // Тези доп. 23-ї Міжнар. наук.-практ. конф. "Інформаційні технології : наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я" (MicroCAD–2015), 20-22 травня 2015 р. / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2015. – С. 352.