Структура, субструктура и физико-механические свойства многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных методом вакуумно-дугового испарения

Ескіз

Дата

2015

ORCID

DOI

item.page.thesis.degree.name

item.page.thesis.degree.level

item.page.thesis.degree.discipline

item.page.thesis.degree.department

item.page.thesis.degree.grantor

item.page.thesis.degree.advisor

item.page.thesis.degree.committeeMember

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

НТУ "ХПИ"

Анотація

Опис

Ключові слова

вакуумно-дуговой метод, CrN, TiN, вакуумная дуга, ионизация, многослойные покрытия, потенциал смещения, процесс осаждения

Бібліографічний опис

Структура, субструктура и физико-механические свойства многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных методом вакуумно-дугового испарения / О. В. Соболь [и др.] // Тези доп. 23-ї Міжнар. наук.-практ. конф. "Інформаційні технології : наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я" (MicroCAD–2015), 20-22 травня 2015 р. / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2015. – С. 352.

item.page.endorsement

item.page.review

item.page.supplemented

item.page.referenced