Спосіб отримання тонких плівок оксиду алюмінію, які містять наноструктурований триоксид вольфраму
Дата
2012
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
ДП "Український інститут промислової власності"
Анотація
Спосіб отримання тонких плівок оксиду алюмінію, які містять наноструктурований триоксид вольфраму включає одержання поруватих оксидних плівок шляхом двостадійного анодування алюмінію з подальшим заповненням пор матриці. Заповнення пор проводять просоченням у розчині вольфрамату амонію з подальшим сушінням зразків та термічним розкладом солі до триоксиду вольфраму при температурі 450-500 °C протягом 30-40 хв.
Опис
Ключові слова
патенти, корисна модель, нанотехнології, плівки, наноструктури напівпровідників, оксид алюмінію, триоксид вольфраму, композитні матеріали
Бібліографічний опис
Пат. 73012 Україна, МПК (2012.01) B82B 3/00, H01L 21/20 (2006.01). Спосіб отримання тонких плівок оксиду алюмінію, які містять наноструктурований триоксид вольфраму [Текст] / Б. І. Байрачний, Л. В. Ляшок, І. А. Токарєва, О. В. Сьомкіна ; Нац. тех. ун-т "Харківський політехнічний інститут". – № u201201395 ; заяв. 10.02.2012 ; публ. 10.09.2012, Бюл. № 17. – 4 с.