Влияние условий ионного облучения на эффективность азотирования алюминия
Дата
2008
Автори
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУ "ХПИ"
Анотація
Методами компьютерного моделирования исследовано влияние толщины оксидного слоя на эффективность ионного азотирования алюминия. Были получены профили проникновения ионов азота с энергией 1-5 кэВ в алюминий при различных толщинах оксидного слоя. Рассчитаны интегральные коэффициенты распыления мишени.
The influence of the oxide layer thickness on the effectiveness of the ion nitriding of aluminum is investigated by the methods of computer simulation. The profiles of the penetration of nitrogen ions with the energy 1-5 keV into aluminum were obtained for different oxide layer thicknesses. The integral sputtering ratios of the target are calculated.
The influence of the oxide layer thickness on the effectiveness of the ion nitriding of aluminum is investigated by the methods of computer simulation. The profiles of the penetration of nitrogen ions with the energy 1-5 keV into aluminum were obtained for different oxide layer thicknesses. The integral sputtering ratios of the target are calculated.
Опис
Ключові слова
моделирование компьютерное, метод Монте-Карло, TRIM, обеспечение программное, оксид алюминия
Бібліографічний опис
Марченко И. И. Влияние условий ионного облучения на эффективность азотирования алюминия / И. И. Марченко // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Системный анализ, управление и информационные технологии. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2008. – № 26. – С. 62-67.