Нанодисперсные пленки, осажденные импульсным лазерным распылением комбинированных мишеней Ni-Au

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2010

ORCID

DOI

Науковий ступінь

Рівень дисертації

Шифр та назва спеціальності

Рада захисту

Установа захисту

Науковий керівник

Члени комітету

Видавець

Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина

Анотація

Представлены результаты электронно-микроскопических и электронографических исследований пленок Ni, Au и сплава Ni-Au, полученных импульсным лазерным распылением одноэлементных и двухэлементных металлических мишеней. В результате распыления одноэлементной мишени Ni и комбинированной мишени 0,75Ni-0,25Au на подложках фор- мируются пленки с метастабильной ГПУ структурой. Распыление комбинированной мишени 0,5Ni-0,5Au, также как и мишени из чистого золота, приводит к формированию пленок со стабильной ГЦК структурой.
The results of electron microscopic and electron diffraction investigation of Ni, Au and Ni-Au alloy films, which was prepared by pulse laser sputtering of the single-element and of the two-element metal targets, are presented. As a result of sputtering of single-element target of Ni and of the combined target of 0.75Ni-0.25Au on the substrates was formed films with metastable HCP structure. Sputtering of the combined targets of 0.5Ni 0.5Au, as well as a sputtering of targets of pure gold, results in formation of films with stable FCC structure.

Опис

Ключові слова

микроскопия электронная, структура метастабильная, электронография, превращение фазовое, отжиг, подложка, electron microscopy, pulse laser sputtering, two-element target, metastable structure, electron-diffraction, phase transition, annealing, substrate

Бібліографічний опис

Нанодисперсные пленки, осажденные импульсным лазерным распылением комбинированных мишеней Ni-Au / А. Г. Багмут [и др.] // Физическая инженерия поверхности = Physical surface engineering. – 2010. – Т. 8, № 1. – С. 36-42.