Оценка степени диссоциации молекулярного водорода в импульсно-периодическом высокочастотном разряде низкого давления

Abstract

Проведена оцінка ступеня дисоціації молекулярного водню по зміряному відношенню інтенсивності лінії Нα атомарного водню і інтегральної інтенсивності ліній α (d³Пu, υ′→ɑ³ Σg⁺, υ″; υ′=υ″=0,1,2,3)-системи в імпульсно-періодичному високочастотному індукційному розряді низького тиску з просторово неоднорідним розподілом електричного поля. Отримані значення ступеня дисоціації характеризують область поглинення високочастотної потужності (скін-шару) в даному розряді.Evaluation of molecular hydrogen dissociation degree is made by measuring relation the ratio of the intensity of the line Нα of atomic hydrogen and the integral line intensity of the Fulcher α-system (d³Пu, υ′→ɑ³ Σg⁺, υ″; υ′=υ″=0,1,2,3) in the low-pressure pulsed-periodic rf-discharge with an inhomogeneous distributions of the electric field. The obtained dissociation degree values characterize of the rf-power absorption region (skin-layer) in this discharge.