Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопії
Вантажиться...
Дата
2014
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
мікроскопія зондова, сканер, обробка зображень, мікроскопія тунельна, мікроскопія атомно-силова, мікроскопія електросилова, мікроскопія магнітно-силова, спектроскопія рентгенівська, спектроскопія фотоелектронна, спектроскопія оже-електронна, спектроскопія розсіювання повільних іонів, дифракція повільних електронів
Бібліографічний опис
Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопії : навч. посібник : [у 2 т.]. Т. 2 / Г. С. Хрипунов [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : НТУ "ХПІ", 2014. – 198 с.