Определение массового баланса газов-реагентов в процессе нанесения ионно-плазменных покрытий
Вантажиться...
Дата
2009
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
НТУ "ХПІ"
Анотація
Determination of mass balance gases of reagents in the causing ions-plasma coverage.
Опис
Ключові слова
метод конденсации в вакууме, метод КИБ, вакуумная камера, методы нанесения
Бібліографічний опис
Тонконогий В. М. Определение массового баланса газов-реагентов в процессе нанесения ионно-плазменных покрытий / В. М. Тонконогий, Е. В. Хомутова, П. С. Носов // Високі технології в машинобудуванні = High technologies of machine-building : зб. наук. пр. – Харків : НТУ "ХПІ", 2009. – Вип. 2 (19). – С. 184-190.