Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства
Вантажиться...
Дата
2017
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Национальный научный центр "Харьковский физико-технический институт"
Анотація
Используя высокотехнологичное вакуумно-дуговое испарение в атмосфере азота с ионной бомбардировкой, получили однослойные и многослойные покрытия на основе TiAlSiYN с высокими механическими характеристиками: твердостью, достигающей 49,5 ГПа; стойкостью к износу с величиной критической точки LC5, достигающей 184,92 Н. Выявлены особенности радиационно-стимулированного воздействия при подаче потенциала смещения Ucм: формирование в нитридах покрытий на основе металлической ГЦК-решетки преимущественной ориентации кристаллитов с осью текстуры [111], а также увеличение при этом твердости. При увеличении Uсм от 50 до 200 В твердость как однослойных, так и многослойных покрытий повышается на 40…50%. Формирование при осаждении кремнийсодержащих слоев TiAlSiYN способствует достижению повышенной твердости, которая в случае однослойного покрытия, сформированного при Uсм = -200 В, составляет 49,5 ГПа, что соответствует сверхтвердому состоянию. Обсуждены механизмы формирования структуры, определяющие полученные механические характеристики однослойных и многослойных покрытий на основе нитрида TiAlSiYN.
Опис
Ключові слова
наноструктурные материалы, нитрид титана, коррозионная стойкость, кристаллиты, структурно-фазовый анализ, кремний
Бібліографічний опис
Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства / В. М. Береснев [и др.] // Вопросы атомной науки и техники. – 2017. – № 4. – P. 88-96.