Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4743
Title: Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si
Authors: Севрюкова, Виктория Анатольевна
Зубарев, Евгений Николаевич
Кондратенко, Валерий Владимирович
Першин, Юрий Павлович
Цебенко, В. О.
Keywords: аморфное состояние; кластер; межфазные границы; кристаллизация; просвечивающая электронная микроскопия; рентгеновская дифрактометрия
Issue Date: 2011
Publisher: Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины
Citation: Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si / В. А. Севрюкова [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 102-114.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4743
Appears in Collections:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2011_Sevryukova_Evolyutsiya_struktury.PDF529,38 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.