Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины
Анотація
Опис
Бібліографічний опис
Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si / В. А. Севрюкова [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 102-114.