Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si
Вантажиться...
Дата
2011
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины
Анотація
Опис
Ключові слова
аморфное состояние, кластер, межфазные границы, кристаллизация, просвечивающая электронная микроскопия, рентгеновская дифрактометрия
Бібліографічний опис
Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si / В. А. Севрюкова [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 102-114.