Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si

Вантажиться...
Ескіз

Дата

ORCID

DOI

Науковий ступінь

Рівень дисертації

Шифр та назва спеціальності

Рада захисту

Установа захисту

Науковий керівник/консультант

Члени комітету

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины

Анотація

Опис

Бібліографічний опис

Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si / В. А. Севрюкова [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 102-114.

Підтвердження

Рецензія

Додано до

Згадується в