Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4743
Назва: Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si
Автори: Севрюкова, Виктория Анатольевна
Зубарев, Евгений Николаевич
Кондратенко, Валерий Владимирович
Першин, Юрий Павлович
Цебенко, В. О.
Ключові слова: аморфное состояние; кластер; межфазные границы; кристаллизация; просвечивающая электронная микроскопия; рентгеновская дифрактометрия
Дата публікації: 2011
Видавництво: Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины
Бібліографічний опис: Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si / В. А. Севрюкова [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 102-114.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4743
Розташовується у зібраннях:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
2011_Sevryukova_Evolyutsiya_struktury.PDF529,38 kBAdobe PDFЕскіз
Відкрити
Показати повний опис матеріалу Перегляд статистики  Google Scholar



Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.