Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4743
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСеврюкова, Виктория Анатольевнаru
dc.contributor.authorЗубарев, Евгений Николаевичru
dc.contributor.authorКондратенко, Валерий Владимировичru
dc.contributor.authorПершин, Юрий Павловичru
dc.contributor.authorЦебенко, В. О.ru
dc.date.accessioned2014-03-13T12:23:35Z-
dc.date.available2014-03-13T12:23:35Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationЭволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si / В. А. Севрюкова [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 102-114.ru
dc.identifier.urihttp://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4743-
dc.language.isoru-
dc.publisherХарьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украиныru
dc.subjectаморфное состояниеru
dc.subjectкластерru
dc.subjectмежфазные границыru
dc.subjectкристаллизацияru
dc.subjectпросвечивающая электронная микроскопияru
dc.subjectрентгеновская дифрактометрияru
dc.titleЭволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Siru
dc.typeArticleen
Appears in Collections:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
2011_Sevryukova_Evolyutsiya_struktury.PDF529,38 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show simple item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.