Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si
Дата
2011
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины
Анотація
Опис
Ключові слова
аморфное состояние, кластер, межфазные границы, кристаллизация, просвечивающая электронная микроскопия, рентгеновская дифрактометрия
Бібліографічний опис
Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si / В. А. Севрюкова [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 102-114.