Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4787
Название: Effect of working gas pressure on interlayer mixing in magnetron-deposited Mo/Si multilayers
Авторы: Pershyn, Yuriy P.
Gullikson, Eric M.
Kondratenko, Valeriy V.
Mamon, Valentine V.
Reutskaya, Svetlana A.
Voronov, Dmitriy L.
Zubarev, Evgeniy N.
Artyukov, Igor A.
Vinogradov, Alexander Vladimirovich
Ключевые слова: subject terms; x-ray multilayer mirrors; interfaces; composition; pressure influence; silicides
Дата публикации: 2013
Издательство: SPIE
Библиографическое описание: Effect of working gas pressure on interlayer mixing in magnetron-deposited Mo/Si multilayers / Y. P. Pershyn [et al.] // Optical Engineering. – 2013. – Vol. 52 (9). – p. 095104-1-10.
Краткий осмотр (реферат): By methods of cross-sectional transmission electron microscopy and small-angle x-ray scattering (λ = 0.154 nm) the influence of Ar gas pressure (1 to 4 mTorr) on the growth of amorphous interfaces in Mo/Si multilayers (MLs) deposited by DC magnetron sputtering is studied. The significant reduction in the ML period, which is evident as a volumetric contraction, is observed in MLs deposited at Ar pressure where the mean-free path for the sputtered atoms is comparable with the magnetronsubstrate distance. Some reduction in the thickness of the amorphous interlayers with Ar pressure increase is found, where the composition of the interlayers is enriched with molybdenum. The interface modification resulted in an increase in EUV reflectance of the Mo/Si MLs
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4787
Располагается в коллекциях:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
2013_Pershyn_Effect_of_working.pdf1,75 MBAdobe PDFЭскиз
Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики  Google Scholar



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.