Компьютерное исследование качества тонких пленок путем исследования их спектральных зависимостей
Вантажиться...
Дата
2013
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
тонкоплёночный слой, пленочная полупроводниковая структура, компьютерная программа, коэффициент пропускания, коэффициент преломления материалов, длина волны
Бібліографічний опис
Черных Е. П. Компьютерное исследование качества тонких пленок путем исследования их спектральных зависимостей / Е. П. Черных, М. Ю. Шеин // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я (MicroCAD–2013) : наук. вид. : тези доп. 21-ї міжнар. наук.-практ. конф., [29-31 травня 2013 р.] : у 4 ч. Ч. 4 / ред. Л. Л. Товажнянський. – Харків : НТУ "ХПІ", 2013. – С. 55.