Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/5631
Название: Повышение точности прецизионного планарного электропривода
Другие названия: Accuracy enhancement for precision planar electric drive.
Авторы: Тяпкин, М. Г.
Ключевые слова: полупроводниковая промышленность; миниатюризация компонентов; координатная система движения; лазерные интерферометры; калибровка электропривода; эталонный датчик
Дата публикации: 2013
Издательство: НТУ "ХПИ"
Библиографическое описание: Тяпкин М. Г. Повышение точности прецизионного планарного электропривода / М. Г. Тяпкин // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Проблемы автоматизированного электропривода. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2013. – № 36 (1009). – С. 232-233.
Краткий осмотр (реферат): Планарный электропривод получил широкое применение в устройствах, требующих высокой точности и скорости перемещения в плоскости XY. Повышение точности планарного электропривода является перспективной задачей в связи с ростом точностных требований микроэлектронной промышленности. Двухуровневая калибровка планарного электропривода позволяет при минимальных размерах калибровочных таблиц повысить точность электропривода более чем в 3 раза до уровня ±2.5 мкм.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/5631
Располагается в коллекциях:Вісник № 36

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
vestnik_HPI_2013_36_Tyapkin_Povysheniye tochnosti.pdf110,3 kBAdobe PDFЭскиз
Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики  Google Scholar



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.