Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/5631
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorТяпкин, М. Г.ru
dc.date.accessioned2014-04-22T11:57:13Z-
dc.date.available2014-04-22T11:57:13Z-
dc.date.issued2013-
dc.identifier.citationТяпкин М. Г. Повышение точности прецизионного планарного электропривода / М. Г. Тяпкин // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Проблемы автоматизированного электропривода. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2013. – № 36 (1009). – С. 232-233.ru
dc.identifier.urihttp://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/5631-
dc.description.abstractПланарный электропривод получил широкое применение в устройствах, требующих высокой точности и скорости перемещения в плоскости XY. Повышение точности планарного электропривода является перспективной задачей в связи с ростом точностных требований микроэлектронной промышленности. Двухуровневая калибровка планарного электропривода позволяет при минимальных размерах калибровочных таблиц повысить точность электропривода более чем в 3 раза до уровня ±2.5 мкм.ru
dc.language.isoru-
dc.publisherНТУ "ХПИ"ru
dc.subjectполупроводниковая промышленностьru
dc.subjectминиатюризация компонентовru
dc.subjectкоординатная система движенияru
dc.subjectлазерные интерферометрыru
dc.subjectкалибровка электроприводаru
dc.subjectэталонный датчикru
dc.titleПовышение точности прецизионного планарного электроприводаru
dc.title.alternativeAccuracy enhancement for precision planar electric drive.en
dc.typeArticleen
Appears in Collections:Вісник № 36

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
vestnik_HPI_2013_36_Tyapkin_Povysheniye tochnosti.pdf110,3 kBAdobe PDFThumbnail
View/Open
Show simple item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.