Повышение точности прецизионного планарного электропривода
Вантажиться...
Дата
2013
Автори
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
НТУ "ХПИ"
Анотація
Планарный электропривод получил широкое применение в устройствах, требующих высокой точности и скорости перемещения в плоскости XY. Повышение точности планарного электропривода является перспективной задачей в связи с ростом точностных требований микроэлектронной промышленности. Двухуровневая калибровка планарного
электропривода позволяет при минимальных размерах калибровочных таблиц повысить точность электропривода более чем в 3 раза до уровня ±2.5 мкм.
Опис
Ключові слова
полупроводниковая промышленность, миниатюризация компонентов, координатная система движения, лазерные интерферометры, калибровка электропривода, эталонный датчик
Бібліографічний опис
Тяпкин М. Г. Повышение точности прецизионного планарного электропривода / М. Г. Тяпкин // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Проблемы автоматизированного электропривода. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2013. – № 36 (1009). – С. 232-233.