Вимірювання оптичної товщини плівок із застосуванням комп’ютерного моделювання на інтерферометрі Лінника
Дата
2019
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
плівки, вимірювання, розрахунку оптичної товщини плівки, комп’ютерна обробка, неруйнівні вимірювання, мікроінтерферометр Лінніка МІІ-4, моделювання
Бібліографічний опис
Сіробаба М. О. Вимірювання оптичної товщини плівок із застосуванням комп’ютерного моделювання на інтерферометрі Лінника / М. О. Сіробаба, Н. Л. Дьяконенко, О. П. Овчаренко // Актуальні проблеми фізики та їх інформаційне забезпечення : матеріали 19-ї регіональної наук. студ. конф., 17-18 квітня 2019 р. / орг. ком. А. П. Марченко [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : НТУ "ХПІ", 2019. – С. 124-125.