Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57472
Title: Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
Other Titles: Початкові стадії перемішування в багатошарових періодичних покриттях Mo/Si при опроміненні іонами He
Initial Stages of Intermixing in Mo/Si Multilayer Coatings During He Ion Irradiation
Authors: Воронов, Д. Л.
Девизенко, Александр Юрьевич
Зубарев, Евгений Николаевич
Кондратенко, Валерий Владимирович
Пеньков, А. В.
Севрюкова, Виктория Анатольевна
Бобков, В. В.
Перегон, Т. И.
Тищенко, Л. П.
Keywords: многослойные периодические пленочные композиции; электронная микроскопия; структурные изменения; облучение ионами; молибден; кремний
Issue Date: 2004
Publisher: Харківський національний університет ім. В. Н. Каразіна
Citation: Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д. Л. Воронов [и др.] // Физическая инженерия поверхности = Physical surface engineering. – 2004. – Т. 2., № 1-2. – С. 54-59.
Abstract: С помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается уменьшением толщиныслоев молибдена и кремния, возрастанием толщины перемешанных зон и уменьшением их плотности. В многослойном покрытии развиваются сжимающие напряжения.
За допомогою рентгенівської дифракції та електронної мікроскопії поперечних зрізів досліджені структурні зміни в багатошарових періодичних ком-позиціях Mo/Si під час опромінювання іонами He. Встановлено, що опромінювання викликає зменшення періоду багатошарової композиції, яке супроводжується зменшенням товщини шарів молібдену та кремнію, зростанням товщини перемішаних зон та зменшенням їх густини. В багатошаровому покритті розвиваються стискуючі напруги.
The structural changes in Mo/Si multilayer coatings induced by He ions irradiation were studied. The electron microscopy of cross-sections and low-angle x-ray diffraction were used. It was shown that irradiation lead to shrinkage of multilayer’s period and thicknesses of Mo and Si layers, growth of mixed zones, decreasing of mixed zone density. Compressing stresses in the coating were formed during irradiation
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57472
Appears in Collections:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
PSE_2004_2_1_2_Voronov_Nachalnye_stadii.PDF334,18 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.