Реакционная диффузия в наноразмерных слоистых системах металл/кремний
Вантажиться...
Дата
2011
Автори
ORCID
DOI
doi.org/10.3367/UFNr.0181.201105c.0491
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
РАН
Анотація
Опис
Ключові слова
процессы реакционной диффузии, фазовые превращения в наноразмерных многослойных системах, электронная микроскопия, аморфный силицид, анизотропия диффузии, кремний
Бібліографічний опис
Реакционная диффузия в наноразмерных слоистых системах металл/кремний / Е. Н. зубарев // Успехи физических наук. – 2011. – Т. 181, № 5. – С. 491–520.