Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57524
Title: Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа
Authors: Зубарев, Евгений Николаевич
Кондратенко, Валерий Владимирович
Першин, Юрий Павлович
Севрюкова, Виктория Анатольевна
Keywords: многослойные периодические системы Mo/Si; многослойная рентгеновская оптика; метод магнетронного распыления; электронная микроскопия
Issue Date: 2009
Publisher: Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна
Citation: Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа / Е.Н. Зубарев [и др.] // Фізичні явища в твердих тілах : матеріали 9-ої Міжнар. конф. (1-4 грудня 2009 р.) / ред.: В. С. Криловський, В. П. Пойда. – Харків : ХНУ, 2009. – С. 82.
URI: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57524
Appears in Collections:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Zubarev_osobennosti_formirovaniya_2009.pdf223,47 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.