Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57524
Название: Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа
Авторы: Зубарев, Евгений Николаевич
Кондратенко, Валерий Владимирович
Першин, Юрий Павлович
Севрюкова, Виктория Анатольевна
Ключевые слова: многослойные периодические системы Mo/Si; многослойная рентгеновская оптика; метод магнетронного распыления; электронная микроскопия
Дата публикации: 2009
Издательство: Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна
Библиографическое описание: Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа / Е.Н. Зубарев [и др.] // Фізичні явища в твердих тілах : матеріали 9-ої Міжнар. конф. (1-4 грудня 2009 р.) / ред.: В. С. Криловський, В. П. Пойда. – Харків : ХНУ, 2009. – С. 82.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57524
Располагается в коллекциях:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Zubarev_osobennosti_formirovaniya_2009.pdf223,47 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики  Google Scholar



Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.