Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа
Дата
2009
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна
Анотація
Опис
Ключові слова
многослойные периодические системы Mo/Si, многослойная рентгеновская оптика, метод магнетронного распыления, электронная микроскопия
Бібліографічний опис
Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа / Е.Н. Зубарев [и др.] // Фізичні явища в твердих тілах : матеріали 9-ої Міжнар. конф. (1-4 грудня 2009 р.) / ред.: В. С. Криловський, В. П. Пойда. – Харків : ХНУ, 2009. – С. 82.