Будь ласка, використовуйте цей ідентифікатор, щоб цитувати або посилатися на цей матеріал: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57524
Назва: Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа
Автори: Зубарев, Евгений Николаевич
Кондратенко, Валерий Владимирович
Першин, Юрий Павлович
Севрюкова, Виктория Анатольевна
Ключові слова: многослойные периодические системы Mo/Si; многослойная рентгеновская оптика; метод магнетронного распыления; электронная микроскопия
Дата публікації: 2009
Видавництво: Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна
Бібліографічний опис: Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа / Е.Н. Зубарев [и др.] // Фізичні явища в твердих тілах : матеріали 9-ої Міжнар. конф. (1-4 грудня 2009 р.) / ред.: В. С. Криловський, В. П. Пойда. – Харків : ХНУ, 2009. – С. 82.
URI (Уніфікований ідентифікатор ресурсу): http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57524
Розташовується у зібраннях:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Файли цього матеріалу:
Файл Опис РозмірФормат 
Zubarev_osobennosti_formirovaniya_2009.pdf223,47 kBAdobe PDFВідкрити
Показати повний опис матеріалу Перегляд статистики  Google Scholar



Усі матеріали в архіві електронних ресурсів захищені авторським правом, всі права збережені.