Please use this identifier to cite or link to this item: http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57524
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЗубарев, Евгений Николаевичru
dc.contributor.authorКондратенко, Валерий Владимировичru
dc.contributor.authorПершин, Юрий Павловичru
dc.contributor.authorСеврюкова, Виктория Анатольевнаru
dc.date.accessioned2022-06-28T16:05:47Z-
dc.date.available2022-06-28T16:05:47Z-
dc.date.issued2009-
dc.identifier.citationОсобенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа / Е.Н. Зубарев [и др.] // Фізичні явища в твердих тілах : матеріали 9-ої Міжнар. конф. (1-4 грудня 2009 р.) / ред.: В. С. Криловський, В. П. Пойда. – Харків : ХНУ, 2009. – С. 82.ru
dc.identifier.urihttp://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57524-
dc.language.isoru-
dc.publisherХарківський національний університет імені В. Н. Каразінаuk
dc.subjectмногослойные периодические системы Mo/Siru
dc.subjectмногослойная рентгеновская оптикаru
dc.subjectметод магнетронного распыленияru
dc.subjectэлектронная микроскопияru
dc.titleОсобенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газаru
dc.typeThesisen
Appears in Collections:Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Zubarev_osobennosti_formirovaniya_2009.pdf223,47 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record  Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.