Please use this identifier to cite or link to this item:
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57524| Title: | Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа |
| Authors: | Зубарев, Евгений Николаевич Кондратенко, Валерий Владимирович Першин, Юрий Павлович Севрюкова, Виктория Анатольевна |
| Keywords: | многослойные периодические системы Mo/Si; многослойная рентгеновская оптика; метод магнетронного распыления; электронная микроскопия |
| Issue Date: | 2009 |
| Publisher: | Харківський національний університет імені В. Н. Каразіна |
| Citation: | Особенности формирования многослойных периодических систем Mo/Si при различных давлениях рабочего газа / Е.Н. Зубарев [и др.] // Фізичні явища в твердих тілах : матеріали 9-ої Міжнар. конф. (1-4 грудня 2009 р.) / ред.: В. С. Криловський, В. П. Пойда. – Харків : ХНУ, 2009. – С. 82. |
| URI: | http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57524 |
| Appears in Collections: | Кафедра "Фізика металів і напівпровідників" |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Zubarev_osobennosti_formirovaniya_2009.pdf | 223,47 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.