Полирование монокристаллических материалов для оптоэлектронной техники

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorФилатов, Ю. Д.ru
dc.contributor.authorСидорко, В. И.ru
dc.contributor.authorФилатов, А. Ю.ru
dc.contributor.authorКовалев, С. В.ru
dc.contributor.authorВетров, А. Г.ru
dc.contributor.authorСильченко, Я. Л.ru
dc.contributor.authorДанильченко, М. А.ru
dc.date.accessioned2016-04-15T08:49:47Z
dc.date.available2016-04-15T08:49:47Z
dc.date.issued2015
dc.description.abstractВ результате исследования закономерностей полирования плоских поверхностей оптико-электронных элементов из монокристаллического карбида кремния и сапфира показано, что в качестве критериев эффективности полирования целесообразно использовать энергию переноса, максимальные значения которой соответствуют минимальной шероховатости, и коэффициенты шероховатости, определяющие минимально допустимые значения высотных параметров.ru
dc.description.abstractAs a result of studies of regularities polishing flat surfaces of optoelectronic components of single crystal silicon carbide and sapphire shown that as polishing performance criteria appropriate to use the energy transfer, the maximum values of which correspond to the minimum roughness and roughness coefficients that determine the minimum permissible altitude parameters.en
dc.identifier.citationПолирование монокристаллических материалов для оптоэлектронной техники / Ю. Д. Филатов [и др.] // Сучасні технології в машинобудуванні = Modern technologies in mechanical engineering : зб. наук. пр. – Харків : НТУ "ХПІ", 2015. – Вип. 10. – С. 168-176.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/20893
dc.language.isoru
dc.publisherНТУ "ХПИ"ru
dc.subjectплоская поверхностьru
dc.subjectоптико-электронные элементыru
dc.subjectмонокристаллический карбид кремнияru
dc.subjectшероховатостьru
dc.subjectнанопрофильru
dc.titleПолирование монокристаллических материалов для оптоэлектронной техникиru
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
STvMS_2015_10_Filatov_Polirovanie.pdf
Розмір:
416.69 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.23 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Кафедра "Інтегровані технології машинобудування ім. М. Ф. Семка"