Повышение точности прецизионного планарного электропривода

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorТяпкин, М. Г.ru
dc.date.accessioned2014-04-22T11:57:13Z
dc.date.available2014-04-22T11:57:13Z
dc.date.issued2013
dc.description.abstractПланарный электропривод получил широкое применение в устройствах, требующих высокой точности и скорости перемещения в плоскости XY. Повышение точности планарного электропривода является перспективной задачей в связи с ростом точностных требований микроэлектронной промышленности. Двухуровневая калибровка планарного электропривода позволяет при минимальных размерах калибровочных таблиц повысить точность электропривода более чем в 3 раза до уровня ±2.5 мкм.ru
dc.identifier.citationТяпкин М. Г. Повышение точности прецизионного планарного электропривода / М. Г. Тяпкин // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Проблемы автоматизированного электропривода. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2013. – № 36 (1009). – С. 232-233.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/5631
dc.language.isoru
dc.publisherНТУ "ХПИ"ru
dc.subjectполупроводниковая промышленностьru
dc.subjectминиатюризация компонентовru
dc.subjectкоординатная система движенияru
dc.subjectлазерные интерферометрыru
dc.subjectкалибровка электроприводаru
dc.subjectэталонный датчикru
dc.titleПовышение точности прецизионного планарного электроприводаru
dc.title.alternativeAccuracy enhancement for precision planar electric drive.en
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
vestnik_HPI_2013_36_Tyapkin_Povysheniye tochnosti.pdf
Розмір:
110.3 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
6.73 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Вісник № 36