Модифікація нанорельєфу методом електронно-променевої мікрообробки

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorАнтонюк, Віктор Степановичuk
dc.contributor.authorГайдаш, Р. П.uk
dc.contributor.authorБілокінь, С. О.uk
dc.contributor.authorБондаренко, Ю. Ю.uk
dc.contributor.authorБондаренко, М. О.uk
dc.date.accessioned2018-12-04T08:37:34Z
dc.date.available2018-12-04T08:37:34Z
dc.date.issued2018
dc.description.abstractПредставлені результати мікрообробки електронним променем стрічкової форми поверхонь оптичних стекол К8, К108 з початковим нанорельєфом поверхні 15-22 нм після промислового шліфування та полірування. За результатами досліджень із застосуванням атомно-силової мікроскопії встановлено, що після електронно-променевої мікрообробки нанорельєф зменшився до значень 1,5…2,2 нм, що задовольняє вимогам до поверхонь оптичних інтегральних схем.uk
dc.description.abstractThe article represents the results of ribbon beam electron ray micromachining of optical glasses K8 and K108 surfaces with the initial nanorelief surface of 15-22 nm after the industrial grounding and polishing. After the application of atomic force microscopy, it was investigated that a nanorelief diminished to the values of 1,5…2,2 nm after a micromachining. This fulfills the requirements to the board surfaces of the optical integrated schemes.en
dc.identifier.citationМодифікація нанорельєфу методом електронно-променевої мікрообробки / В. С. Антонюк [та ін.] // Резание и инструменты в технологических системах = Cutting & tools in technological systems : междунар. науч.-техн. сб. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2018. – Вып. 88. – С. 11-17.uk
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/38763
dc.language.isouk
dc.publisherНТУ "ХПІ"uk
dc.subjectоптичне склоuk
dc.subjectатомно-силовий мікроскопuk
dc.subjectоптична інтегральна схемаuk
dc.subjectглибоке шліфування-поліруванняuk
dc.subjectelectron-beam micromachiningen
dc.subjectoptical glassen
dc.subjectatomic force microscopeen
dc.titleМодифікація нанорельєфу методом електронно-променевої мікрообробкиuk
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
RITS_2018_88_Antoniuk_Modyfikatsiia_nanoreliefu.pdf
Розмір:
547.32 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.25 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Кафедра "Інтегровані технології машинобудування ім. М. Ф. Семка"