Влияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb2Al)N с аморфноподобной фазой AlN

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorИващенко, Владимир Ивановичru
dc.contributor.authorПогребняк, Александр Дмитриевичru
dc.contributor.authorСоболь, Олег Валентиновичru
dc.contributor.authorРогоз, Владислав Николаевичru
dc.contributor.authorМейлехов, Андрей Александровичru
dc.contributor.authorДуб, Сергей Николаевичru
dc.contributor.authorКупчишин, Анатолий Ивановичru
dc.date.accessioned2015-04-23T12:28:47Z
dc.date.available2015-04-23T12:28:47Z
dc.date.issued2015
dc.description.abstractИсследованы нанокомпозитные пленки на основе (Nb2Al)N, полученные с помощью магнетронного распыления. В пленках было идентифицировано два устойчивых состояния кристаллической структуры: NbN (c низким растворением Al до 5 at.%) с составом, близким к (Nb2Al)N, и аморфноподобная составляющая, связанная с состоянием нитрида алюминия при реактивном магнетронном распылении. Установлена чувствительность субструктурных характеристик к току, подаваемому на мишень из Al, а также их связь с нанотвердостью и твердостью по Кнупу. Последние изменяются в диапазоне 29−33.5 и 46−48 GPa соответственно.ru
dc.identifier.citationВлияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb2Al)N с аморфноподобной фазой AlN / В. И. Иващенко [и др.] // Письма в Журнал Технической Физики. – 2015. – Т. 41, вып. 14. – С. 72-78.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/14397
dc.language.isoru
dc.publisherФизико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАНru
dc.subjectнанокомпозитные пленкиru
dc.subjectаморфноподобная фазаru
dc.subjectпленкиru
dc.subjectпокрытия AlNru
dc.titleВлияние тока Al-мишени на структуру и свойства пленок (Nb2Al)N с аморфноподобной фазой AlNru
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
2015_Ivashchenko_Vliyanie_toka.pdf
Розмір:
110.74 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.23 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Кафедра "Матеріалознавство"