Structure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorDevizenko, A. Yu.en
dc.contributor.authorKopylets, I. A.en
dc.contributor.authorKondratenko, V. V.en
dc.contributor.authorPershyn, Yuriy P.en
dc.contributor.authorZubarev, Evgeniy N.en
dc.contributor.authorSavitskiy, B. A.en
dc.contributor.authorDevizenko, I. Y.en
dc.date.accessioned2022-06-27T00:59:27Z
dc.date.available2022-06-27T00:59:27Z
dc.date.issued2018
dc.identifier.citationStructure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayer / A.Yu. Devizenko [et al.] // Functional Materials. – 2018. – V. 25, No 4. – P. 729-735.en
dc.identifier.doidoi.org/10.15407/fm25.04.729
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57479
dc.language.isoen
dc.publisherSTC "Institute for Single Crystals"en
dc.subjectmultilayeren
dc.subjectmagnetronen
dc.subjectzone plateen
dc.subjectmechanical stressesen
dc.subjectcrystalszationen
dc.subjectбагатошарові покриттяuk
dc.subjectмагнетронuk
dc.subjectзонна плитаuk
dc.subjectмеханічні напругиuk
dc.subjectкристалізаціяuk
dc.titleStructure and mechanical stresses in TaSi 2 /Si multilayeren
dc.title.alternativeСтруктура та механічні напруження у багатошаровому покритті TaSi 2 /Siuk
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
FM_2018_25_4_Devizenko_Structure_and_mechanical.pdf
Розмір:
574.71 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.25 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"