Влияние масштаба на электрофизические параметры компонентов микроэлектромеханических систем

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorНевлюдов, И. Ш.ru
dc.contributor.authorПалагин, В. А.ru
dc.contributor.authorБогдан, Ю. И.ru
dc.contributor.authorТоманова, С. М.ru
dc.date.accessioned2015-02-12T10:50:11Z
dc.date.available2015-02-12T10:50:11Z
dc.date.issued2014
dc.description.abstractТеории подобия и размерностей физических величин (ТП и РФВ) содержат основные принципы для оценки изменения свойств МЭМС при уменьшении линейных размеров. Различные активные силы меняются по разным законам, эти силы перечислены в статье. ТП и РФВ могут использоваться для анализа и оценки изменения характеристик МЭМС. В статье показаны некоторые основные тенденции микроминиатюризации.ru
dc.description.abstractSimilitude and dimension physical quantities theories (TS and DPQ) are basic principles for estimation of changing properties MEMS with decreasing linear scale. Different active forces changes with distinguish laws and these forces are enumerated. In the article surface tension force, electrostatic interactions and electromagnetic interactions are analized. TS and DPQ can be used for analysis and estimation changing characteristics of microelectromechanical systems. These theories help to choose rational functioning principle of MEMS. Also using TS and DPQ allows to estimate the correctness of results, which were obtained with other methods. In the report some principle tendencies of miniaturization are shown.en
dc.identifier.citationВлияние масштаба на электрофизические параметры компонентов микроэлектромеханических систем / И. Ш. Невлюдов [и др.] // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Автоматика и приборостроение. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2014. – № 67 (1109). – С. 38-48.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/12972
dc.language.isoru
dc.publisherНТУ "ХПИ"ru
dc.subjectтеория подобияru
dc.subjectмикросистемная техникаru
dc.subjectэффекты масштабированияru
dc.subjectминиатюризацияru
dc.subjectтеория аналогийru
dc.subjectSimilitude theoryen
dc.subjectmicrosystem machineryen
dc.subjectscalingen
dc.subjectminiaturizationen
dc.titleВлияние масштаба на электрофизические параметры компонентов микроэлектромеханических системru
dc.title.alternativeInfluence of linear dimensions change on electrical parameters of microelectromechanical system’s componentsen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
vestnik_HPI_2014_67_Nevlyudov_Vliyanie.pdf
Розмір:
615.17 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.23 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Вісник № 67