Исследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЖуравель, Игорь Александровичru
dc.contributor.authorБугаев, Егор Анатольевичru
dc.contributor.authorДевизенко, Александр Юрьевичru
dc.contributor.authorПершин, Юрий Павловичru
dc.contributor.authorКондратенко, Валерий Владимировичru
dc.date.accessioned2014-03-13T12:35:15Z
dc.date.available2014-03-13T12:35:15Z
dc.date.issued2011
dc.description.abstractМетодом рентгеновского диффузного рассеяния на длине волны 0,154 нм проведено исследование шероховатости и перемешивания на границах раздела многослойных пленочных композиций Cr/Sc и Co/C с периодами ~ 5 – 7 нм, полученных методом магнетронного распыления. Исследовано влияние на структуру границ раздела композиций Co/C часового отжига в интервале температур 100 – 330 °С. Полученные статистические характеристики шероховатости границ раздела позволяют предсказать рентгенооптические характеристики многослойных композиций, применяемых в рентгеновской оптике в диапазоне длин волн 3 – 5 нм.ru
dc.description.abstractStudy of the interface roughness and diffuseness of the Cr/Sc and Co/C multilayer with ~ 5 – 7 nm the periods on 0,154 wavelength obtained by DC magnetron sputtering has been conducted by X-ray diffuse scattering method. Influence of hour time annealing in 100 – 330 °С temperature range on the Co/C interface structure has been established. Obtained statistical characteristics of interface roughness are useful to forecast X-ray optic characteristics of multilayers using in X-ray optics in 3 – 5 nm wavelength range.en
dc.identifier.citationИсследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеяния / И. А. Журавель [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 134-141.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4745
dc.language.isoru
dc.publisherХарьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украиныru
dc.subjectфункция плотностиru
dc.subjectспектральная мощностьru
dc.subjectшероховатостьru
dc.subjectмногослойные пленкиru
dc.subjectдиффузионное перемешиваниеru
dc.subjectpower spectralen
dc.subjectdensity functionen
dc.subjectX-ray diffuse scatteringen
dc.subjectroughnessen
dc.subjectmultilayered filmsen
dc.subjectdiffusive mixingen
dc.titleИсследование структуры межслоевых границ раздела в многослойных периодических композициях Cr/Sc и Co/C методом рентгеновского диффузного рассеянияru
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
2011_Zhuravel_Issledovaniye_struktury.pdf
Розмір:
301.07 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
6.73 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"