Влияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorСоболь, Олег Валентиновичru
dc.contributor.authorАндреев, Анатолий Афанасьевичru
dc.contributor.authorГорбань, Виктор Федоровичru
dc.contributor.authorСтолбовой, Вячеслав Александровичru
dc.contributor.authorПинчук, Наталия Владимировнаru
dc.contributor.authorМейлехов, Андрей Александровичru
dc.date.accessioned2015-04-24T11:30:55Z
dc.date.available2015-04-24T11:30:55Z
dc.date.issued2015
dc.description.abstractМетодами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура, твердость и модуль упругости вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN/ZrN, полученных с разными толщинами двухслойных периодов при постоянных отрицательных потенциалах смещения (Ub) -140 и -200 В. Установлено, что при действии этих потенциалов в процессе осаждения покрытий слои мононитридов ZrN и TiN формируются с преимущественной ориентацией кристаллитов (текстурой) с осью [111], перпендикулярной плоскости роста. Увеличение числа границ при уменьшении толщины периодов приводит к увеличению твердости до 45 ГПа, что значительно превосходит твердость каждого из слоев ZrN и TiN в отдельностиru
dc.description.abstractPhase composition, structure, substructure, hardness and elastic modulus of vacuum-arc multilayer coatings of TiN/ZrN, obtained with different thicknesses bilayer periods at constant negative bias potential (Ub) -140 and -200, was investigated by X-ray diffraction, electron microscopy and microindentation. It is established that under the action of these potentials during the deposition of layers mononitrides ZrN and TiN formed the preferred orientation of crystallites (texture) with the [111] axis perpendicular to the plane of growth. Increasing the number of boundaries with decreasing thickness of periods leads to increased hardness of 45 GPa, which is much greater than the hardness as ZrN and TiN single-layer coatings.en
dc.identifier.citationВлияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарением / О. В. Соболь [и др.] // Вопросы атомной науки и техники = Problems of atomic science and technology. – 2015. – № 2 (96). – С. 124-129.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/14405
dc.language.isoru
dc.publisherНациональный научный центр "Харьковский физико-технический институт"ru
dc.subjectпокрытия TiN/ZrNru
dc.subjectпотенциал смещенияru
dc.subjectмононитридru
dc.subjectтекстураru
dc.titleВлияние толщины бислоев TiN/ZrN на структуру и свойства многослойных покрытий, полученных вакуумно-дуговым испарениемru
dc.title.alternativeInfluence of the thickness of the bilayer TiN/ZrN on structure and properties of multilauer coatings obtained by vacuum-arc evaporationen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
2015_Sobol_Vliyanie_tolshchiny.pdf
Розмір:
644.88 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.23 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Кафедра "Матеріалознавство"