Газофазное осаждение кремний-германиевых сплавов

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЖуравлев, А. Ю.ru
dc.contributor.authorГлушко, П. И.ru
dc.contributor.authorКапустин, В. Л.ru
dc.contributor.authorКорж, А. Ф.ru
dc.contributor.authorСеменов, Н. А.ru
dc.contributor.authorХованский, Н. А.ru
dc.contributor.authorШеремет, Н. И.ru
dc.contributor.authorШироков, Б. М.ru
dc.date.accessioned2018-10-26T11:38:35Z
dc.date.available2018-10-26T11:38:35Z
dc.date.issued2006
dc.description.abstractМетодом сумісного газофазного осадження при пониженому тиску одержано щільні полікристалічні конденсати Si-Ge сплавів з концентрацією германію від 5 до 30 %, для використання в якості матеріалів для термоелектричних перетворювачів енергії. Досліджено кінетику осадження Si-Ge сплавів. Присутність невеликих добавок германію інтенсифікує процес осадження кремнію. Визначення концентрації германію проводилось ядерно-фізичним методом. Мікрорентгеноспектральні дослідження рівномірності осадження засвідчили високу гомогенність одержаних сплавів.uk
dc.description.abstractDense polycrystallic condensates of Si-Ge alloys were grown by reduced pressure CVD intended for usage as materials for thermoelectric energy converters. The kinetics of a Si-Ge deposition is researched. The presence of the small amounts of germanium intensifies the process of a silicon deposition. The determination of germanium concentration in the samples was made via the nuclear physics technique. The examination, made in the microanalyzer, attested to a high homogeneity of the Si-Ge condensates.en
dc.identifier.citationГазофазное осаждение кремний-германиевых сплавов / А. Ю. Журавлев [и др.] // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Химия, химическая технология и экология. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2006. – № 44. – С. 96-100.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/38068
dc.language.isoru
dc.publisherНТУ "ХПИ"ru
dc.subjectвысокотемпературные материалыru
dc.subjectтермодинамические расчетыru
dc.subjectдиффузионная область контроляru
dc.subjectкоэффициент диффузииru
dc.subjectхлорид кремнияru
dc.titleГазофазное осаждение кремний-германиевых сплавовru
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
vestnik_KhPI_2006_44_Zhuravlev_Gazofaznoe_osazhdenie.pdf
Розмір:
595.94 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.25 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Вісник № 44