Влияние тантала на текстуру вакуумных конденсатов меди

dc.contributor.authorГлущенко, Мария Александровнаru
dc.contributor.authorБелозеров, Валерий Владимировичru
dc.contributor.authorСоболь, Олег Валентиновичru
dc.contributor.authorСубботина, Валерия Валерьевнаru
dc.contributor.authorЗеленская, Галина Ивановнаru
dc.contributor.authorЗубков, Анатолий Ивановичru
dc.date.accessioned2020-02-11T11:38:19Z
dc.date.available2020-02-11T11:38:19Z
dc.date.issued2019
dc.description.abstractИзучена структура вакуумных конденсатов Cu(Ta) толщиной до 50 мкм отделенных от неориентирующих подложек. Обнаружено, что конденсаты Cu(Ta), полученные при температуре подложки 100 °С, имеют текстуру типа <111> перпендикулярно их поверхности. Степень и характер текстурированности зеренной структуры медной матрицы зависят от концентрации тантала, температуры подложки и сохраняются при последующем отжиге. Изученные закономерности объясняются формированием атомами тантала сегрегаций на границах зерен медной матрицы в процессе конденсации двухкомпонентного пара.ru
dc.description.abstractThe structure of 50 microns thick separated from the nonorienting substrate Cu(Ta) vacuum condensates is studied. It is found that Cu(Ta) condensates, obtained at the substrate temperature of 100 °C have a <111> type texture perpendicular to their surface. The degree and nature of the texturing of the grain structure of the copper matrix, which depend on the concentration of tantalum and the substrate temperature is maintained during subsequent annealing. The regularities studied are explained by the formation by tantalum atoms of segregation at the grain boundaries of the copper matrix during the condensation of two-component vapor.en
dc.identifier.citationВлияние тантала на текстуру вакуумных конденсатов меди / М. А. Глущенко [и др.] // Journal of nano- and electronic physics = Журнал нано- та електронної фізики. – 2017. – Vol. 9, № 2. – P. 02015-1-02015-4.ru
dc.identifier.doidoi.org/10.21272/jnep.9(2).02015
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/44280
dc.language.isoru
dc.publisherСумський державний університетuk
dc.subjectдифрактометрru
dc.subjectэлектронограммаru
dc.subjectструктураru
dc.subjectэлектронная техникаru
dc.subjectконденсатru
dc.subjectstructureen
dc.titleВлияние тантала на текстуру вакуумных конденсатов медиru
dc.title.alternativeEffect of tantalum on the texture of copper vacuum condensatesen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Вантажиться...
Ескіз
Назва:
JNEP_2017_9_2_Hlushchenko_Vlyianye_tantala.pdf
Розмір:
416.99 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.25 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис: